ATOVAC真空計（增強(qiáng)對流計）EG301

通常安裝在真空室內(nèi)，它是一個讀取真空室內(nèi)實(shí)際壓力的儀表，需要+24 VDC（可能為15 VDC）電源。EG301增強(qiáng)型對流壓力計具有3~10 VDC信號輸出，用于半導(dǎo)體工藝和真空設(shè)備。

• 可以進(jìn)行大范圍的壓力測量（0 X 10^-4至760Torr）。
• 高精度和增加的占地面積效率。
• 提供模擬輸出，以便直接連接到PLC和其他設(shè)備進(jìn)行顯示。
• 由于采用了7段LED，因此可以遠(yuǎn)距離讀取。
• PC可以使用RS-485進(jìn)行控制。
• 提供兩個設(shè)置點(diǎn)用于外部設(shè)備和過程。
• 它可以以低成本維修（更換傳感器導(dǎo)線）。
• 可單獨(dú)使用，無需控制器。

輸入功率：+24伏直流電（可能15伏直流電)

輸出功率：+3 VDC至10 VDC

工作溫度：0~50℃

壓力范圍：2.0 X 10^-4~760Torr

顯示窗口：7段LED

顯示單元：托爾（Torr）

安裝位置：水平

細(xì)絲：鉑99.999%

法蘭：NW16 ISO-KF、NW25 ISO-KF，1/4 VCR內(nèi)螺紋，CF法蘭

界面：模擬輸出，RS-485，2個設(shè)定點(diǎn)