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400-9619-005

ENTEGRIS凈化柜RSPX-DPC-048SS-31A

可進(jìn)行單獨(dú)吹掃,減少網(wǎng)罩內(nèi)的微粒和濕氣。光罩凈化柜加入了我們完整的光罩處理和存儲(chǔ)解決方案組合,有助于保持沒有污染的環(huán)境。機(jī)柜設(shè)計(jì)支持所有 150 mm網(wǎng)紋柵 SMIF pod (RSP150)、200...

產(chǎn)品介紹

可進(jìn)行單獨(dú)吹掃,減少網(wǎng)罩內(nèi)的微粒和濕氣。光罩凈化柜加入了我們完整的光罩處理和存儲(chǔ)解決方案組合,有助于保持沒有污染的環(huán)境。機(jī)柜設(shè)計(jì)支持所有 150 mm網(wǎng)紋柵 SMIF pod (RSP150)、200 mm網(wǎng)紋柵 SMIF pod (RSP200) 和EUV網(wǎng)紋柵 pod。

機(jī)柜可提供一種或兩種清洗氣體和多達(dá) 84 個(gè)清洗位置,從而可以對(duì)吊艙進(jìn)行單獨(dú)清洗,以減少吊艙內(nèi)的顆粒和水分。每個(gè)機(jī)柜都包括一個(gè) pod 監(jiān)控系統(tǒng),可實(shí)現(xiàn)可追溯性和足夠的清洗時(shí)間。

性能特點(diǎn)

符合人體工程學(xué)的設(shè)計(jì)使工廠人員能夠有保障的裝載

RFID 讀/寫功能實(shí)現(xiàn)了吊艙的可追溯性

集成的用戶界面可提供有關(guān)吊艙位置和清洗時(shí)間的信息

可選擇吹掃巢穴數(shù)量(可達(dá) 84 個(gè)),提供設(shè)計(jì)靈活性和多功能性

設(shè)計(jì)堅(jiān)固,安裝和維護(hù)簡(jiǎn)單

龐大的已安裝客戶群證明了產(chǎn)品的可靠性和性能

選型指南

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)地:美國(guó)

容量:24、36、48 或 84 個(gè)清洗套

清洗接口:RSP150 SMIF 或 RSP200/EUV 可選

RFID 識(shí)別:讀/寫功能

門:可根據(jù)需要提供

吹掃氣體:1 或 2

接口:RSP150

沖洗廢氣:48

清洗氣體:1

壓力控制器:無(wú)

RSP150 SMIF 占地面積(長(zhǎng)×寬×高):1.56 x 0.66 x 1.97 米(5.12 x 2.17 x 6.46 英寸)

RSP200/EUV 占地面積(長(zhǎng)×寬×高):2.20 x 0.50 x 2.07 米(7.22 x 1.64 x 6.79 英寸);

3.33 x 0.50 x 2.07 米(10.93 x 1.64 x 6.79 英寸)

產(chǎn)品應(yīng)用

Reticle pod 存儲(chǔ)、視網(wǎng)膜莢凈化


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