ENTEGRIS配液系統(tǒng)IntelliGen RULV

內(nèi)置堅(jiān)固耐用的 RDS-01 V2 控制模塊可實(shí)現(xiàn)配液量準(zhǔn)確度和重復(fù)性監(jiān)測(cè)。IntelliGen RULV噴點(diǎn)系統(tǒng)基于新型兩級(jí)噴點(diǎn)技術(shù)與Entegris創(chuàng)新的Connectology過濾器設(shè)計(jì)的成熟性能，將高純度過濾與低粘度液體（1-100 cP或噴點(diǎn)壓力不超過29 psi時(shí)的更高粘度）的可重復(fù)噴點(diǎn)集成在一起。該泵系統(tǒng)專門設(shè)計(jì)用于TEL Clean Track ACT  12/ACT 8軌道系統(tǒng)。

IntelliGen RULV噴點(diǎn)系統(tǒng)是作為光刻工藝的消毒噴點(diǎn)系統(tǒng)而開發(fā)的，它可以在晶片上噴點(diǎn)出更均勻的光化學(xué)涂層。它還有助于縮短啟動(dòng)時(shí)間，并提供智能點(diǎn)膠診斷功能。兼容的 Impact 8G 或 Impact 2 V2（OF 型）過濾器可輕松滑入 IntelliGen RULV 系統(tǒng)的隔室。流體以特定截留率的流速通過 Impact 過濾器，從而提高產(chǎn)量并延長(zhǎng)正常運(yùn)行時(shí)間。集成的雙壓力傳感器可提供實(shí)時(shí)警報(bào)，并通過提供多種確認(rèn)功能（包括分配確認(rèn)、周期時(shí)間確認(rèn)和 delta P 確認(rèn)）來增強(qiáng)過濾器填料功能。這些確認(rèn)功能有助于防止因涂層問題造成的代價(jià)高昂的晶片缺陷，以及在較低的就緒壓力水平下因反向間隙問題引發(fā)的隨機(jī)直流錯(cuò)誤。

空氣檢測(cè)功能可準(zhǔn)確定位空氣進(jìn)入出口管道的時(shí)間，這些空氣來自泄漏或隨著時(shí)間推移逐漸積累的微小氣泡。RDS-01 控制器的性能和交互式診斷功能使 IntelliGen RULV 噴點(diǎn)系統(tǒng)成為低粘度光阻的正確選擇，以確保噴點(diǎn)的可重復(fù)性、更長(zhǎng)的過濾器壽命和回報(bào)。

大部分功能與 IntelliGen ULV 系統(tǒng)相同，新增了使用流量計(jì)檢測(cè)分配液體量的準(zhǔn)確性和可重復(fù)性的功能

專為東京電子 ACT 12/ACT 8 工具設(shè)計(jì)

可分配 1 - 100 cP 的低粘度液體，或分配壓力不超過 29 psig 的高粘度液體

可靠分配低粘度流體（1-100 cP），不影響過濾性能

新的用戶友好型 MMI 軟件可簡(jiǎn)化配方編程并提供實(shí)時(shí)狀態(tài)

實(shí)時(shí)可靠的確認(rèn)工具有助于很大限度地減少代價(jià)高昂的晶片缺陷

優(yōu)化的流體流動(dòng)路徑可提高化學(xué)品周轉(zhuǎn)率并減少死體積

改進(jìn)的分配功能可防止電機(jī)反沖，使分配更加一致

可選配流量計(jì)，具有監(jiān)測(cè)流量特性和更靈敏地檢測(cè)出口管中的氣泡、泄漏或扭結(jié)的額外優(yōu)勢(shì)

可選的后清潔程序有助于更快地啟動(dòng)晶片運(yùn)行

IGLNPVBPF1F1：分配系統(tǒng)：支柱型進(jìn)氣口/Flaretek 型出氣口和排氣口：IntelliGen RULV 用于 RDS01 加裝 EX 凈化器

IGLNPSP01：電纜部件： 用于 RULV 的 RS232C 主機(jī)電纜

IGLNPSP02：電纜部件： 用于RULV的RS232C 5CM主機(jī)電纜

IGLNPSP03：電纜零件： RS422主機(jī)電纜PLS GND，用于RULV

IGLNPSP04：電纜零件： 用于 RULV 的 RS422 DG 鏈電纜 PLS GND

IGLNPSP05：流量計(jì)電纜部件： 流量計(jì) RS485 2M 電纜，用于 RULV

IGLNPSP06：流量計(jì)電纜部件： 用于 RULV 的流量計(jì) RS485 5M 電纜

產(chǎn)地：美國(guó)

體積：0.01 -10.0 mL，增量為 0.001 mL

速度：0.01 - 3.0 mL/s，增量為 0.001 mL/s

重復(fù)性：≤ 0.02 mL 3 sigma

粘度范圍：1-100 cP

Max分配設(shè)計(jì)壓力：0.21 MPa（30 psi）

填充率、過濾率、排氣率、吹掃率：0.1 - 3.0 mL/s，增量為 0.001 mL/s

排氣頻率：自動(dòng)排氣或 1 -10,000 次分配循環(huán)

機(jī)械潤(rùn)濕表面：改性聚四氟乙烯（PTFE）、聚四氟乙烯（PTFE）、Kalrez 材料

連接類型入口：插入式，Super Type Pillar；出口和通風(fēng)口：Flaretek 型

過濾器：Impact 8G 或 Impact 2 V2（OF 型）

入口、出口和通風(fēng)管：外徑：6.35 mm（0.25 英寸）或 6.0 mm（0.24 英寸）；內(nèi)徑：3.97 mm（0.156 英寸）或 4.0 mm（0.16 英寸）

入口氣體類型：調(diào)節(jié) N₂ 或 CAD

Min工作氣壓：0.26 MPa（38 psi）

Max工作氣壓：0.28 MPa（40 psi）

氣動(dòng)泄漏壓力：0.30 MPa（43 psi）

真空：-68 kPa（Min 20 英寸汞柱）

尺寸（高×寬×深）：303.5 × 118.0 × 156.8 mm（11.95 × 4.65 × 6.17 英寸）

重量約：4.5 kg（10 磅）

額定電流：Max 1.25 A

輸入電壓（系統(tǒng)）：24 VDC ± 10 %

串行通信：規(guī)格取決于使用的接口模塊

并行通信：觸發(fā)和確認(rèn)

使用環(huán)境：室內(nèi)使用

海拔：低于 2000 米（2187.22 碼）

環(huán)境溫度：5 至 40 °C (41 至 104 °F)

相對(duì)濕度：80 %（31 °C (88 °F) 以下）；50 %（40 °C (88 °F) 時(shí)線性遞減）

至 40°C (104°F) 時(shí)相對(duì)濕度為 50

22 - 26 VDC 的主電源波動(dòng)

過電壓類別 II 的瞬態(tài)過電壓

污染等級(jí)：2

超低粘度（1-100 cP）使用點(diǎn)光化學(xué)噴點(diǎn)