ENTEGRIS液體過(guò)濾器AE20T0M100M01FT

高純度、稀酸和稀堿缺陷減少解決方案，可提高晶片產(chǎn)量性能。Astera 液體過(guò)濾器可為大流量和使用點(diǎn) (POU) 酸性和堿性水基工藝化學(xué)品提供同類更好的過(guò)濾效果。10 nm 等級(jí)類型可提供更高的顆粒截留能力，其流速具有更開(kāi)放膜的特點(diǎn)。這種過(guò)濾器的高流速與去離子水預(yù)濕包裝相結(jié)合，可在較短的停機(jī)時(shí)間內(nèi)實(shí)現(xiàn)快速?zèng)_洗。

Astera 過(guò)濾器采用原生聚芳砜（PAS）膜技術(shù)，用于篩分和非篩分污染物捕獲，減少晶片缺陷，提供清潔的化學(xué)品輸送。PAS 仍是稀釋水性化學(xué)物質(zhì)的材料，而 Astera 過(guò)濾器的 10 nm 原生膜則在此基礎(chǔ)上提供了更優(yōu)良的全 pH 選項(xiàng)

PAS 膜可確?；瘜W(xué)純度，提供更低的基準(zhǔn) WPA

去離子水預(yù)濕包裝可實(shí)現(xiàn)快速?zèng)_洗，從而減少停機(jī)時(shí)間，更快地投入生產(chǎn)

高流量、10 nm 膜可實(shí)現(xiàn)快速?zèng)_洗和設(shè)備化學(xué)品吞吐量，從而減少停機(jī)時(shí)間，更快投入生產(chǎn)

未經(jīng)改性的原生膜可在所有 pH 值條件下提供先進(jìn)的顆粒截留能力，從而減少了用于多種稀釋?xiě)?yīng)用的單一產(chǎn)品的庫(kù)存量

產(chǎn)地：美國(guó)

膜材質(zhì)：聚芳砜 (PAS)

支座、套管、核心、端蓋材質(zhì)：高密度聚乙烯 (HDPE)、聚丙烯 (PP)

Code 0 雙 2-222 O 形圈：包封氟聚合物 (E-FKM) 或 Kalrez® 6375

Chem-Line II 一次性外殼：PP

截留等級(jí)：10 nm

10"膜表面積：1.4 平方米（15.07 平方英尺）

20"膜表面積：2.8 平方米（30.14 平方英尺）

Max正向壓差：0.21 兆帕（2.1 巴，30 psid），溫度為 25 °C (77 °F)

Max反向壓差：0.21 兆帕（2.1 巴，30 psid），溫度為 25 °C (77 °F)

Max工作壓力：0.14 兆帕（1.4 巴，20 psid），溫度為 25 °C (77 °F)

Max工作溫度：70 °C (158 °F) @ 10 psi

酸性工藝化學(xué)品，如 BOE 和 DHF、基本工藝化學(xué)品，如 NH₄OH 和 TMAH、去離子水

散裝和定點(diǎn)使用、低溫工藝（< 70 °C [158  °F])